用于感测干涉式调制器的激励电压及释放电压的系统及方法

摘要

本发明提供一种用于感测一微机电装置的激励电压及/或释放电压的方法，其包括向所述装置施加一变化电压并感测其状态和不同电压电平。在一实施例中，所述装置是一包含一适用于一显示器的干涉式调制器阵列的系统的一部分。所述方法可用于补偿显示像素特性的与温度相关的变化。

主权项

1.一种用于确定一微机电装置的一激励电压和一释放电压中的一种或两种电压的方法，所述方法包括：将至少两种不同电位施加至至少一耦接至所述装置的电极；检测在所述至少两种不同电位下所述装置的至少一与电容相关的电响应；至少部分地根据所述响应确定在所述至少两种不同电位下所述装置的一状态；及至少部分地根据所述确定一状态来确定所述激励电压和释放电压中的一种或两种电压。