室温共价粘结的方法

摘要

一种粘结方法，包括使用具有氟化氧化物的粘结层。通过暴露于含氟溶液、蒸汽或者气体下或者通过植入，可将氟引入到粘结层内。也可使用其中在粘结层的形成过程中将氟引入其内的方法，从而形成粘结层。粘结层的表面用所需物种，优选NH₂物种终止。这可通过将粘结层暴露于NH₄OH溶液来实现。在室温下获得高的粘结强度。该方法也可包括一起粘结两层粘结层并在粘结层之间的界面附近处生成具有峰值的氟浓度。粘结层之一可包括在彼此上形成的两层氧化物层。在两层氧化物层之间的界面处，氟的浓度也可具有第二峰值。

主权项

1.形成粘结的结构体的方法，包括：在第一元件上形成第一氧化物层，将氟引入所述第一氧化物层，在所述引入步骤之后，在所述第一氧化物层上形成第二氧化物层；在第二元件上制备粘结表面；和将所述第一氧化物层粘结到所述粘结表面上。