一种从生产多晶硅所产生的尾气中循环回收氯化氢的方法

摘要

一种从生产多晶硅所产生的尾气中循环回收氯化氢的方法，包括以下步骤：用液态的四氯化硅对尾气进行淋洗；对淋洗之后的尾气进行加压和冷却进行气液分离；使气态的混合物通过液态的吸收剂；利用吸附剂吸附和滤除；对被吸附在吸附剂内的物质进行加热，并利用氢气带出，再次进入尾气中进行循环回收。对吸收剂进行升温和/或加压，使氯化氢和二氯二氢硅从液态吸收剂中被解吸出来，通过控制压力和/或温度使二氯二氢硅变为液态，从而分离氯化氢与二氯二氢硅，由此回收氯化氢。本发明采用干法处理将尾气中的氯化氢回收，并可再用于多晶硅生产中，原料得以充分的利用，减少了污染物，解决了环境污染问题，提高了产品质量，降低了成本。

主权项

1、一种从生产多晶硅所产生的尾气中循环回收氯化氢的方法，所述尾气主要包括氢气、氯化氢、和氯硅烷，所述氯硅烷主要包括二氯二氢硅、三氯氢硅和四氯化硅，所述方法包括以下步骤：(1)用液态的四氯化硅对尾气进行淋洗，去处尾气中的杂质并吸收部分的氯化氢和氯硅烷；(2)对淋洗之后的尾气进行加压和冷却，以便使所述三氯氢硅和四氯化硅变为液态而所述氢气、氯化氢、二氯二氢硅保持为气态，从而通过气液分离将气态的氢气、氯化氢、和二氯二氢硅与液态的三氯氢硅和四氯化硅分离；使气态的氢气、氯化氢、和二氯二氢硅通过液态的吸收剂，以便使大部分气态的氯化氢和二氯二氢硅溶解于液态的吸收剂中，此时气态的氢气中只含有少量的气态氯化氢和氯硅烷；(3)利用吸附剂吸附和滤除氢气中残余的少量气态氯化氢和氯硅烷，而将氢气与所述残余的氯化氢和氯硅烷分离；对被吸附在吸附剂内的氯化氢和氯硅烷进行加热，和利用氢气将加热后的气态氯化氢和氯硅烷从吸附剂内带出，再次进入尾气中进行循环回收；(4)对溶解了氯化氢和二氯二氢硅的吸收剂进行升温和/或加压，使氯化氢和二氯二氢硅从液态吸收剂中被解吸出来；通过控制解吸出来的气态的氯化氢和二氯二氢硅的压力和/或温度使二氯二氢硅变为液态，从而分离氯化氢与二氯二氢硅，由此回收氯化氢。