发明名称 具有感测单元的衬底处理设备
摘要 一种衬底处理设备包括:具有处理空间的腔室;所述腔室中用以支撑衬底的支撑板;在所述支撑板上方的喷淋头,所述喷淋头具有下部开放的主体以及连接到所述主体的下部用以在所述支撑板上方供应源气体的喷射板。所述设备还包括具有传感器和弹性件的感测单元。传感器的一端与喷射板的上表面接触。弹性件在朝向喷射板的方向上向传感器提供弹力。
申请公布号 CN101359580A 申请公布日期 2009.02.04
申请号 CN200810110688.3 申请日期 2008.06.16
申请人 爱德牌工程有限公司 发明人 郑元基
分类号 H01L21/00(2006.01);H01L21/3065(2006.01);C23F4/00(2006.01);H01J37/32(2006.01);H01J37/244(2006.01) 主分类号 H01L21/00(2006.01)
代理机构 北京鸿元知识产权代理有限公司 代理人 陈英俊;李瑞海
主权项 1、一种衬底处理设备,包括:包括处理空间的腔室;在所述腔室中用以支撑衬底的支撑板;在所述支撑板上方的喷淋头,所述喷淋头具有下部开放的主体以及连接到所述主体的下部用以在所述支撑板上方供应源气体的喷射板;以及感测单元,具有传感器和弹性件,其中所述传感器的一端与所述喷射板的上表面接触,并且其中所述弹性件在朝向所述喷射板的方向上向所述传感器提供弹力。
地址 韩国京畿道