发明名称 | 电子发射元件、电子源及图像显示装置的制造方法 | ||
摘要 | 提供一种电子发射元件、电子源及图像显示装置的制造方法。在该电子发射元件的制造方法中,在对在基板上形成的导电膜进行清洗处理并去除异物之后,对去除了该异物的导电膜实施通电而在该导电膜上形成电子发射部。所以,可提供防止由于异物存在引起的电子发射部的形成不良并具有良好的电子发射特性的电子发射元件。 | ||
申请公布号 | CN100459013C | 申请公布日期 | 2009.02.04 |
申请号 | CN200410011479.5 | 申请日期 | 2004.12.31 |
申请人 | 佳能株式会社 | 发明人 | 宇田芳己;柳泽芳浩;石渡和也 |
分类号 | H01J9/02(2006.01) | 主分类号 | H01J9/02(2006.01) |
代理机构 | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人 | 岳耀锋 |
主权项 | 1.一种电子发射元件的制造方法,其特征在于:在基板上形成导电膜,在从形成的上述导电膜上去除异物之后,对去除了该异物的导电膜实施通电而在该导电膜上形成电子发射部,从上述导电膜上去除异物是在上述基板上和上述导电膜上形成电阻膜之后进行的。 | ||
地址 | 日本东京 |