| 发明名称 | 光发射显微镜背面样品固定器 | ||
| 摘要 | 本发明提供一种光发射显微镜背面样品固定器，主要包括样品承载基板，样品固定杆以及至少三个可动螺纹垫片，样品承载基板的中部镶嵌透光的玻璃片，作为承载样品的位置。此种样品固定器在固定样品时不需要使用热溶胶，不会对样品造成污染，另一方面也可以达到节省材料以及使用简便的效果。 | ||
| 申请公布号 | CN100458492C | 申请公布日期 | 2009.02.04 |
| 申请号 | CN200610027448.8 | 申请日期 | 2006.06.08 |
| 申请人 | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 | 发明人 | 梁山安;秦天;颜金国;简维廷 |
| 分类号 | G02B21/26(2006.01);G01N21/88(2006.01) | 主分类号 | G02B21/26(2006.01) |
| 代理机构 | 北京市金杜律师事务所 | 代理人 | 李勇 |
| 主权项 | 1、一种光发射显微镜背面样品固定器，其特征在于具有如下结构：样品承载基板，样品固定杆以及至少三个可动螺纹垫片；样品承载基板的中部镶嵌透光的玻璃片，作为承载样品的位置；样品固定杆的两端分别以可动螺纹垫片连接于样品承载基板的两侧；所述至少三个可动螺纹垫片中，至少两个可动螺纹垫片穿设于样品承载基板的两侧，并分别固定于所述样品固定杆的两端，至少一个可动螺纹垫片穿设于样品固定杆正中。 | ||
| 地址 | 201203上海市浦东新区张江路18号 | ||