| 发明名称 | 轴对称和均匀热分布的真空吸附加热器 | ||
| 摘要 | 本发明提供一种轴对称和均匀热分布的真空吸附加热器。在一些实施例中，一种真空吸盘包括：主体，具有用于在其上支撑衬底的支撑表面；多个轴对称布置的沟槽，形成于所述支撑表面中，所述沟槽中的至少一些相交；以及穿过所述主体并在所述沟槽内形成的多个吸附孔，所述吸附孔用于在操作期间将所述沟槽流体耦合到真空源，其中，所述吸附孔布置在所述沟槽的非相交部分中。 | ||
| 申请公布号 | CN101358338A | 申请公布日期 | 2009.02.04 |
| 申请号 | CN200810131215.1 | 申请日期 | 2008.07.30 |
| 申请人 | 应用材料公司 | 发明人 | 陆思青;巴拉吉·查卓瑟卡兰;保罗·爱德华·吉;尼汀·K·尹格勒;德米特里·鲁博弥尔斯克;原铮;埃利·Y·易 |
| 分类号 | C23C16/54(2006.01) | 主分类号 | C23C16/54(2006.01) |
| 代理机构 | 北京东方亿思知识产权代理有限责任公司 | 代理人 | 赵飞 |
| 主权项 | 1.一种真空吸盘，包括：主体，具有用于在其上支撑衬底的支撑表面；多个轴对称布置的沟槽，形成于所述支撑表面中，所述沟槽中的至少一些相交；以及穿过所述主体并在所述沟槽内形成的多个吸附孔，所述吸附孔用于在操作期间将所述沟槽流体耦合到真空源，其中，所述吸附孔布置在所述沟槽的非相交部分中。 | ||
| 地址 | 美国加利福尼亚州 | ||