静电微开关及其制造方法、以及具有静电微开关的装置

摘要

静电微开关及其制造方法、以及具有静电微开关的装置。本发明的课题是提供可以维持高频特性、同时防止驱动电压上升或动作速度下降的静电微开关。作为解决手段，本发明的静电微开关通过设置在固定基板(10)上的固定电极(12)和弹性支撑在固定基板(10)上的可动基板(20)中的可动电极(23)之间的静电引力，使可动基板(20)变位，由此进行设置在固定基板(10)上的信号线(14)和设置在可动基板(20)上的可动触点(28)之间的通断。可动基板(20)由包含多种电阻率的半导体构成，在可动电极(23)中，与固定电极(12)相对的部分为低电阻率。此外，在可动基板(20)中与信号线(14)相对的部分为高电阻率。

主权项

1.一种静电微开关，其特征在于，所述静电微开关由以下部分构成：固定电极，其设置在固定基板上；可动基板，其包含与所述固定电极相对配置的可动电极、并且弹性支撑在所述固定基板上；固定侧信号导通部，其设置在所述固定基板上；以及可动侧信号导通部，其设置在所述可动基板上，通过所述可动电极和所述固定电极之间的静电引力使所述可动基板变位，由此进行所述可动侧信号导通部与所述固定侧信号导通部之间的通断，其中，所述可动基板由具有电阻率不同的多个区域的半导体构成，所述可动基板中至少所述可动侧信号导通部为高电阻率，并且，所述可动电极的至少一部分为低电阻率。