发明名称 半导体器件、制造电极的方法以及制造半导体器件的方法
摘要 一种半导体器件,包括:p型氮化物半导体层(14);以及p侧电极(18),包括连接到所述氮化物半导体层(14)的表面的氧化钯膜(30)。
申请公布号 CN100459196C 申请公布日期 2009.02.04
申请号 CN200680000332.3 申请日期 2006.02.21
申请人 株式会社东芝 发明人 斋藤真司;布上真也;冈俊行
分类号 H01L33/00(2006.01);H01S5/042(2006.01);H01L21/285(2006.01);H01L29/45(2006.01) 主分类号 H01L33/00(2006.01)
代理机构 北京市中咨律师事务所 代理人 杨晓光;李峥
主权项 1.一种半导体器件,包括:p型氮化物半导体层;以及p侧电极,包括连接到所述氮化物半导体层的表面的氧化钯膜,其中所述氧化钯膜包括硫化铂结构型氧化钯晶体。
地址 日本东京都