发明名称 电容量隔膜压力计和其构造方法
摘要 一种用于测量压力的电容量隔膜计(100)和其构造方法,包括经由垫片(122)或其它的凸起周边部分安装到主体结构(110)上的平隔膜(120)。
申请公布号 CN101358889A 申请公布日期 2009.02.04
申请号 CN200810125077.6 申请日期 2004.03.17
申请人 霍里巴斯特克公司 发明人 R·J·费兰;D·M·罗尔巴赫;M·奥斯瓦尔德
分类号 G01L9/12(2006.01) 主分类号 G01L9/12(2006.01)
代理机构 中国专利代理(香港)有限公司 代理人 廖凌玲
主权项 1.一种电容量隔膜压力计,包括:具有前表面和后表面的主体结构;所述前表面具有基本上平的中心部分并且被凸起周边部分所限定,该凸起周边部分具有垂直于所述平的中心部分的厚度;穿过该主体结构布置的至少一个电极,该电极具有与所述前表面基本上平齐的前沿面;具有第一表面和第二表面的隔膜,该第一表面布置在所述凸起周边部分上并且通过凸起周边部分的厚度与所述主体结构的前表面间隔开。
地址 美国加利福尼亚州