| 发明名称 | 溅射靶结构体 | ||
| 摘要 | 本发明提供1种溅射靶结构体，该溅射靶结构体的机械加工性及热传导性优异，对钎焊材料的润湿性好，而且价格便宜，可长时间反复使用，不产生溅射靶龟裂、剥离的问题。该溅射靶结构体由溅射靶和垫板接合而成，其中，垫板由与溅射靶材料的线膨胀系数之差在2×10<SUP>－6</SUP>/K以下的材料构成，在垫板的至少一面配置厚度为0.3～1.5mm的铜板。 | ||
| 申请公布号 | CN101360843A | 申请公布日期 | 2009.02.04 |
| 申请号 | CN200680049619.5 | 申请日期 | 2006.12.27 |
| 申请人 | 先进材料技术股份有限公司;国谷勉 | 发明人 | 国谷勉;铃木信幸;寺师晶 |
| 分类号 | C23C14/34(2006.01);C22C49/06(2006.01);C22C101/04(2006.01);C22C101/10(2006.01);C22C101/14(2006.01);C22C101/18(2006.01);C22C101/22(2006.01) | 主分类号 | C23C14/34(2006.01) |
| 代理机构 | 北京林达刘知识产权代理事务所 | 代理人 | 刘新宇;李茂家 |
| 主权项 | 1.溅射靶结构体，该溅射靶结构体由溅射靶和垫板接合而成，其中，垫板由与溅射靶材料的线膨胀系数之差在2×10-6/K以下的材料构成，在垫板的至少一面配置厚度为0.3～1.5mm的铜板。 | ||
| 地址 | 日本静冈县 | ||