表面形状测定装置

摘要

一种表面形状测定装置，具备：动作推定部(300)，其根据仿形矢量指令部(220)发出的仿形矢量指令来推定驱动机构的动作状态并计算推定动作状态量；校正运算部(400)，其根据动作推定部(300)计算的推定动作状态量来校正运算驱动传感器的检测值。动作推定部(300)具有标称模型设定部(311)，其设定从仿形矢量指令被发出到反映仿形探测器的移动位置之前的信号传递特性即标称模型，校正运算部(400)包括：校正量计算部(420)，其根据推定动作状态量来计算对由驱动中驱动机构变形产生的测定误差进行校正的校正量；测定数据合成部(430)，其把驱动传感器和检测传感器的检测值与由校正量计算部(420)计算的校正量进行合成并作为测定数据。

主权项

1、一种表面形状测定装置，其特征在于，包括：仿形探测器，其具有与被测定物表面接近或抵接的测头和检测所述测头与所述被测定物表面的相对位置的检测传感器，且把所述测头与所述被测定物表面的相对位置保持在预先设定的基准位置进行仿形扫描；仿形矢量指令部，其发出仿形矢量的指令，该仿形矢量指示出沿所述被测定物表面的所述仿形探测器下一个移动位置；驱动机构，其保持所述仿形探测器并具有使所述仿形探测器三维移动的驱动轴，且根据所述仿形矢量指令使所述仿形探测器移动；驱动传感器，其检测所述驱动机构的驱动量；动作推定部，其根据所述仿形矢量指令部发出的所述仿形矢量指令来推定所述驱动机构的动作状态并计算推定动作状态量；校正运算部，其根据所述动作推定部计算的所述推定动作状态量来校正运算所述驱动传感器的检测值，其中，所述动作推定部具有标称模型设定部，该标称模型设定部设定从所述仿形矢量指令部发出所述仿形矢量指令到反映所述仿形探测器的移动位置之间的信号传递特性即标称模型，所述校正运算部包括：校正量计算部，其根据所述推定动作状态量来计算对由驱动中的所述驱动机构变形而产生的测定误差进行校正的校正量；测定数据合成部，其把由所述驱动传感器和所述检测传感器检测的检测值与由所述校正量计算部计算的校正量进行合成并作为测定数据。