发明名称 铯释放器及其使用方法
摘要 描述了基于使用还原剂和铯化合物的铯释放器,其中铯化合物选自其钼酸盐、钨酸盐、铌酸盐、钽酸盐、硅酸盐和锆酸盐;此外,描述了这些释放器的某些使用方法。
申请公布号 CN100459219C 申请公布日期 2009.02.04
申请号 CN02802376.5 申请日期 2002.05.07
申请人 工程吸气公司 发明人 C·波菲多;L·托亚;L·凯特尼奥
分类号 H01L51/56(2006.01);H05B33/00(2006.01);H01J9/12(2006.01) 主分类号 H01L51/56(2006.01)
代理机构 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 代理人 蔡胜有
主权项 1.铯释放器(10;30;40),包括一个容器,该容器能够存放固体颗粒,还至少要具有一部分表面(14;32;42)对气体铯通透,容器中含有至少一种铯化合物与至少一种还原剂的混合物(16;44),其特征在于,铯化合物选自其钼酸盐、钨酸盐、铌酸盐、钽酸盐、硅酸盐和锆酸盐,其中该还原剂选自铝、硅、锆、钛或含有锆或钛的合金。
地址 意大利莱内特