一种浓缩化学机械平坦化浆料产品及其使用方法

摘要

本发明公开了一种浓缩化学机械平坦化浆料产品：该产品中影响其他成分浓缩的成分为独立分装；及其使用方法：设所述的浓缩化学机械平坦化浆料产品共有n个独立分装部分，每个部分的浓缩倍数依次为A₁、A₂……A_n；使用时按下述比例进行稀释混合：浓缩部分1∶浓缩部分2∶……浓缩部分n∶去离子水＝(1/A₁)∶(1/A₂)∶……∶(1/A_n)∶(1－1/A₁－1/A₂－……－1/A₂)，即可。本发明的浓缩化学机械平坦化浆料产品可提高浓缩比，并大大延长了浓缩化学机械平坦化浆料的使用寿命，克服了现有技术中制备浓缩化学机械平坦化浆料的瓶颈问题，极大的降低了产品制造，运输，贮备等方面成本，具有较高的经济价值。

主权项

1.一种浓缩化学机械平坦化浆料产品，其特征在于：该产品中影响其他成分浓缩，或者易受其他浓缩成分影响，或者在浓缩状态下不稳定的成分为独立分装。