发明名称 |
真空高频移动蒸镀机 |
摘要 |
本实用新型提供了一种应用在太阳能真空集热管毛管内壁镀膜领域的真空高频移动蒸镀机,包括蒸发舟、抽真空装置及设置在移动架车上的高频装置,高频装置设有外置的高频线圈及电磁铁,蒸发舟设于毛管内部,蒸发舟上设有磁铁,毛管穿过高频线圈插入抽真空装置,移动驾车带动高频装置移动、电磁铁与磁铁吸合运动。本实用新型能够根据真空管反射镜面圆心角大小直接镀制出设计弧度的反射膜,并且适用于大规模机械化生产,能较大的提高镀膜速率、保证镀膜质量;由于加热源可移动从而大大降低了真空镀膜对真空操作空间的要求,不需要建大的真空室,节省了生产成本,同时使抽真空时间大大降低,提高了生产效率。 |
申请公布号 |
CN201190178Y |
申请公布日期 |
2009.02.04 |
申请号 |
CN200820106959.3 |
申请日期 |
2008.04.24 |
申请人 |
黄鸣 |
发明人 |
殷占民;王孝星;许维华 |
分类号 |
C23C14/24(2006.01);C23C14/56(2006.01) |
主分类号 |
C23C14/24(2006.01) |
代理机构 |
北京三高永信知识产权代理有限责任公司 |
代理人 |
何文彬 |
主权项 |
1.一种真空高频移动蒸镀机,其特征在于:包括蒸发舟、抽真空装置及设置在移动架车上的高频装置,高频装置设有外置的高频线圈及电磁铁,蒸发舟设于毛管内部,蒸发舟上设有磁铁,毛管穿过高频线圈插入抽真空装置,移动驾车带动高频装置移动、电磁铁与磁铁吸合运动。 |
地址 |
253000山东省德州市德城区东风路35-5-1-501号 |