发明名称 固体摄像装置和其制造方法
摘要 本发明的固体摄像装置,将多个具有在半导体基板上形成的光电变换元件与在上述光电元件上形成的滤色层的象素部排列而形成,上述滤色层的膜厚形成为,部比周边部厚。通过改善滤色片的形状,降低毗邻滤色层的混色、界限浓淡、感光度波动,能够实现微细化。
申请公布号 CN100459139C 申请公布日期 2009.02.04
申请号 CN200410098208.8 申请日期 2004.11.29
申请人 松下电器产业株式会社 发明人 横泽贤二
分类号 H01L27/146(2006.01);H04N5/335(2006.01) 主分类号 H01L27/146(2006.01)
代理机构 永新专利商标代理有限公司 代理人 胡建新
主权项 1、一种固体摄像装置,将多个具有在半导体基板上形成的光电变换元件与在上述光电变换元件上形成的滤色层的象素部排列而构成,其特征在于:上述滤色层将以比上述象素部小的尺寸形成的第1层、及以与上述象素部相同的尺寸形成的第2层层叠而形成,以及上述滤色层各自的膜厚为中央部比周边部厚。
地址 日本大阪府