半导体器件和半导体检查方法

摘要

提供一种半导体器件和半导体检查方法。使用扫描测试系统把触发器(300)的电源布线(401)与组合电路(307)的电源布线(403)分离，而且，将触发器(300)的输出分离成扫描链的输出端子(306)和对组合电路(307)的输出端子(305)，通过在触发器(300)中新附加装载维持端子(304)作为对组合电路(307)的输出来保持信号值，可同时进行静止稳定等待和下一个测试矢量的模式形成，可缩短IDDQ测试时间，可使系统LSI的IDDQ测试高速化。

主权项

1.一种半导体器件，具有多个触发器，该多个触发器在扫描测试模式时被输入静止电源电流测试用测试矢量，在通常使用时被输入通常使用数据，其特征在于具备：组合电路，被从扫描链内的多个触发器输入测试矢量或通常使用数据；触发器用电源，利用电源电压供给布线连接到上述触发器上，对上述触发器供给电源电压；以及组合电路用电源，利用电源电压供给布线连接到上述组合电路上，对该组合电路供给电源电压，且上述触发器具有：装载维持端子，被输入装载维持信号，该装载维持信号对在静止电源电流测试模式时从扫描链输入的测试矢量是作为用于对上述组合电路输出的数据而保持在该触发器中还是输出给上述组合电路进行控制；通常数据输出端子，从上述触发器对上述组合电路输出通常使用数据；以及扫描链数据输出端子，从扫描链内的第n级触发器对第n+1级触发器输出测试矢量，n是整数。