| 发明名称 | 等离子体诊断设备及方法 | ||
| 摘要 | 提供了一种包括插入到等离子体中或置于等离子体的边界处的探针单元的等离子体诊断设备，所述设备包括：信号提供单元，具有信号提供源；电流检测/电压转换单元，用于将从信号提供单元施加的周期性电压信号施加到探针单元、检测流过探针单元的电流的幅值并将检测的电流转换为电压；分频测量单元，用于通过接收从电流检测/电压转换单元输出的电压作为输入来计算流过探针单元的电流的各个频率分量的幅值和相位。 | ||
| 申请公布号 | CN101361176A | 申请公布日期 | 2009.02.04 |
| 申请号 | CN200680041101.7 | 申请日期 | 2006.10.02 |
| 申请人 | 韩国标准科学研究院;郑进旭 | 发明人 | 郑进旭;李敏馨;张圣虎 |
| 分类号 | H01L21/66(2006.01) | 主分类号 | H01L21/66(2006.01) |
| 代理机构 | 北京铭硕知识产权代理有限公司 | 代理人 | 韩明星;张军 |
| 主权项 | 1、一种包括插入到等离子体中或置于等离子体的边界处的探针单元的等离子体诊断设备，所述设备包括：信号提供单元，具有信号提供源；电流检测/电压转换单元，用于将从信号提供单元施加的周期性电压信号施加到探针单元、检测流过探针单元的电流的幅值并将检测的电流转换为电压；分频测量单元，用于接收从电流检测/电压转换单元输出的电压作为输入，并计算流过探针单元的电流的各个频率分量的幅值和相位。 | ||
| 地址 | 韩国大田市 | ||