液晶显示面板的制造装置及其制造方法

摘要

本发明提供一种能可靠地消除工序氛围气中的污染物质，抑制显示不良，提高液晶显示面板的显示质量及合格率的液晶显示面板的制造装置及其制造方法。在密封/Ag分配装置及液晶滴注分配装置、隔离子撒布装置、隔离子检查装置、隔离子粘着装置、贴合装置等ODF生产线的各种装置、用于运送基板的机械手等装置运送部以及将基板容纳到基板盒等内的缓冲部中的至少一个上，设置用于以惰性气体代替内部气体的单元或化学过滤单元(1)中的至少一方，从而能维持基板表面的洁净度，而且在任意一道工序之后，测定基板表面上的液晶滴接触角或基板表面上残存杂质的浓度，基于接触角或杂质浓度来确认基板表面的洁净度。

主权项

1.一种用于制造包括一对对置的基板的显示面板的装置，包括：执行制造所述显示面板的工序的单元，所述工序在所述基板互相贴合之前执行；运送所述基板的基板运送部；其中容纳所述基板的缓冲部；以及在各个所述单元、所述基板运送部以及所述缓冲部中的至少一个上设置的用于以氮气取代内部气体的单元，其中，所述用于以氮气取代内部气体的单元维持所述单元、所述基板运送部或所述缓冲部中的氧浓度小于等于20％。