高频电源电路

摘要

一种高频电源电路，可利用简单结构高精度地实施高频功率的输出调节，其具有：基本驱动方形波生成电路部(5)，其生成具有输出频率的基本驱动方形波；微分信号生成电路部(9)，其生成该基本驱动方形波的前沿微分信号；振动器电路部(15)，其具有方形波信号生成器(10)和信号宽度控制电路(11、12)，该方形波信号生成器(10)把来自外部的触发信号的输入作为契机来输出具有与所述输出频率的半个周期相当的期间内的信号宽度的方形波信号，该信号宽度控制电路(11、12)根据控制信号，对所述方形波信号的信号宽度进行可变控制；以及开关放大器电路部(6)，其放大基于来自该振动器电路部(15)的输出信号的放大源信号，该高频电源电路把所述微分信号生成电路部(9)所生成的前沿微分信号用作所述振动器电路部(15)的触发信号。

主权项

1.一种高频电源电路，其特征在于，该高频电源电路具有：基本驱动方形波生成电路部，其生成具有从高频电源电路输出的输出频率的基本驱动方形波；微分信号生成电路部，其生成该所生成的基本驱动方形波的前沿或后沿的微分信号；振动器电路部，其具有方形波信号生成器和信号宽度控制电路，所述方形波信号生成器把来自外部的触发信号的输入作为契机来输出具有与所述输出频率的半个周期相当的期间内的信号宽度的方形波信号，所述信号宽度控制电路根据用于控制基于所述输出频率的功率输出的控制信号，对所述方形波信号的信号宽度进行可变控制；以及开关放大器电路部，其放大基于来自该振动器电路部的输出信号的放大源信号，所述高频电源电路把所述微分信号生成电路部所生成的微分信号用作所述振动器电路部的触发信号。