发明名称 | 制备包括铁电单晶层的膜结构的方法 | ||
摘要 | 通过用导电粘合剂或金属层将铁电单晶体板粘合到衬底上来制备有利于用在高性能电动或电子部件或装置的制造中的铁电单晶体膜结构,在与衬底粘合之前或之后抛光铁电单晶体板。 | ||
申请公布号 | CN100459047C | 申请公布日期 | 2009.02.04 |
申请号 | CN03825649.5 | 申请日期 | 2003.07.14 |
申请人 | 伊布勒光子学公司 | 发明人 | 殷宰焕;李相救;崔炳珠;林圣珉 |
分类号 | H01L21/205(2006.01) | 主分类号 | H01L21/205(2006.01) |
代理机构 | 永新专利商标代理有限公司 | 代理人 | 王英 |
主权项 | 1、一种制备铁电单晶体膜结构的方法,包括通过导电粘合剂层将铁电单晶体板粘合到衬底上,其中所述导电粘合剂是含有金或银的环氧树脂膏。 | ||
地址 | 韩国京畿道 |