发明名称 |
Dépôt de circuits de film mince sans utilisation de masques |
摘要 |
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申请公布号 |
FR1341047(A) |
申请公布日期 |
1963.10.25 |
申请号 |
FR19620913509 |
申请日期 |
1962.10.26 |
申请人 |
INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION |
发明人 |
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分类号 |
C23C14/04;H01B1/00;H01L39/24;H01L49/02 |
主分类号 |
C23C14/04 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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