发明名称 Dépôt de circuits de film mince sans utilisation de masques
摘要
申请公布号 FR1341047(A) 申请公布日期 1963.10.25
申请号 FR19620913509 申请日期 1962.10.26
申请人 INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION 发明人
分类号 C23C14/04;H01B1/00;H01L39/24;H01L49/02 主分类号 C23C14/04
代理机构 代理人
主权项
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