使用间隙物光罩以倍增频率之方法

摘要

本发明描述一种用以制造半导体罩幕的方法。首先，提供一半导体叠堆，该半导体叠堆具有一牺牲罩幕与一间隙物罩幕。牺牲罩幕包含一系列的线，并且间隙物罩幕具有邻接该系列线之侧壁的多个间隙物线。接着，修整间隙物罩幕。最后，去除牺牲罩幕，以提供一经修整的间隙物罩幕。经修整的间隙物罩幕可以倍增牺牲罩幕之该系列线的频率。