表面检查装置及表面检查方法

摘要

本发明具备：照明部，用以对检查对象之基板倾斜之边缘部分，从该边缘部分之法线方向错开既定角度之方向予以照明的；成像光学系统，用以使来自边缘部分之绕射光成像；摄影部，用以拍摄藉由成像光学系统所获得之像；以及检测机构，根据藉由摄影部所获得之与边缘部分对应的影像是否呈现线状之像来检测有无缺陷。