用于平面显示器之化学气相沈积装置

摘要

一种用于平面显示器之化学气相沈积装置，包括：对基板实施沈积制程之一反应室，供制程气体注入反应室之一气体进管，以及连接至该气体进管且用于导引制程气体流至该气体进管之一气体供应管；于该化学气相沈积装置中，其中一寄生电浆产生预防部系位于该气体进管中并藉由于沈积制程期间增加该气体供应管之压力来预防寄生电浆产生于该气体供应管中