一种形成浅沟渠隔离的方法

摘要

一种形成浅沟渠隔离的方法，首先提供一基材，其包含一沟渠，在沟渠中依序形成有第一内衬层与第二内衬层，且以第一氧化物填满沟渠。其次，进行第一湿蚀刻，以移除部分第一氧化物与部分第一内衬层以暴露出基材。之后，进行第二湿蚀刻，以移除部分第二内衬层，使得第二内衬层低于基材表面。再来，进行第三湿蚀刻，以移除部分第一氧化物与部分第一内衬层。接着，使用第二氧化物填满沟渠以形成浅沟渠隔离。