| 摘要 |
本发明提供一种热处理装置，可以使热处理时从被热处理物产生的昇华物难以通过气体导出孔流出。热处理装置包括装置主体，装置主体具有：热处理室，收容被热处理物，该被热处理物可以从热处理室中取出；以及加热室，与热处理室联通，其中，在加热室内，对通过设置在加热室的气体导入孔导入到加热室内的热处理用气体进行加热，以对被热处理物进行热处理，并通过设置在热处理室的气体导出孔，将热处理完毕的气体从热处理室导出。这种热处理装置设置有触媒，堵塞气体导出孔的入口，触媒可以分解热处理完毕的气体中包含的从被热处理物产生的昇华物。 |
