检测结构以及检测方法

摘要

一种检测结构，用以检测影像感测器，影像感测器电性连接于晶圆上并且影像感测器与晶圆之间设有检测板，检测结构包括平行光源、针脚以及滤光片，平行光源发射平行光，针脚与检测板电性连接，滤光片位于平行光源以及针脚之间，其中，平行光源发射之平行光通过滤光片到达晶圆上之影像感测器。