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发明名称
可检测接点厚度之基板及其检测方法
摘要
一种可检测接点厚度之基板,其至少包含一介电层、一第一金属层以及一第二金属层,该第一金属层系形成于该介电层之一上表面,该第一金属层包含有一线路区及一测试区,该线路区具有复数个接点,该第二金属层系形成于该介电层之一下表面,该第二金属层系具有一镂空区,该镂空区系对准该第一金属层之该测试区,以防止检测该测试区时,造成干扰。
申请公布号
TW200905826
申请公布日期
2009.02.01
申请号
TW096127854
申请日期
2007.07.30
申请人
日月光半导体制造股份有限公司
发明人
廖国成
分类号
H01L23/48(2006.01);H01L21/66(2006.01)
主分类号
H01L23/48(2006.01)
代理机构
代理人
张启威
主权项
地址
高雄市楠梓加工出口区经三路26号
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