PROCEDIMIENTO Y DISPOSITIVO DE DEPOSITO POR PLASMA DE RESONANCIA DE CICLOTRON ELECTRONICA DE NANOTUBOS DE CARBONO DE MONOPARED Y NANOTUBOS ASI OBTENIDOS.

摘要

Procedimiento de depósito por plasma de resonancia de ciclotrón electrónica de nanotubos de carbono de monopared, sobre un sustrato libre de catalizador, mediante inyección de una potencia de microondas en una cámara de depósito que comprende una estructura magnética de confinamiento de espejo magnético, y al menos una zona de resonancia de ciclotrón electrónica en el interior mismo o en el borde de dicha cámara de depósito y que está enfrente de dicho sustrato, por medio de lo cual se provoca, a una presión inferior a 10 -3 mbar, la disociación y/o la ionización de un gas que contiene carbono en dicho espejo magnético en el centro de la cámara de depósito, produciendo especies que se depositan sobre dicho sustrato que está calentado; procedimiento en el que la superficie del sustrato presenta relieves y/o depresiones, y dichos relieves y/o dichas depresiones comprenden al menos una superficie sensiblemente perpendicular al plano principal de la superficie del sustrato.