负光阻组成物及其用以形成图案之方法

摘要

本发明揭示一种负光阻组成物，其包括：(A)含说明书中定义之指定重复单元的硷溶性聚合物；(B)在酸之作用下可与硷溶性聚合物(A)交联之交联剂；(C)在以光化射线或辐射照射时可产生酸之化合物；(D)说明书中定义之指定四级铵盐；及(E)有机羧酸，及一种使用此组成物形成图案之方法。