鳍式场效电晶体装置的制造方法

摘要

本发明提供一种鳍式场效电晶体装置的制造方法，包括下列步骤：提供一基底，其包含一第一鳍及一第二鳍；形成一第一材料层于该第一鳍上，其中该第一材料层包含一第一种类之杂质；提供一第二种类之杂质于该第二鳍上；以及对该基底进行一高温制程，该基底包含该第一材料层及该第二种类之杂质。