光学读写头应用于角度量测

摘要

本发明提供一种可应用于角度量测的光学读写头，使用45°平板玻璃产生像散的光学读写头与原子力显微镜搭配来进行角度量测。本装置包含雷射二极体、45°平板玻璃、准直镜、反射镜、物镜、巡轨起动器、四象限侦测器(PDIC)，其中，利用四象限侦测器得到的讯号，找出讯号与待测面偏移的关系，以便确定位移及角度与讯号变化的关系。