氧化镁粒子聚集物及其制造方法

摘要

本发明之目的系提供：可再分散，且可在纯度维持于高纯度之状态下供给之高纯度氧化镁粒子聚集物及其制造方法。本发明之氧化镁粒子聚集物系氧化镁粒子聚集而成之氧化镁粒子聚集物，氧化镁粒子为平均粒径在1μm以下，且含有不纯物之Si、Al、Ca、Fe、V、Cr、Mn、Ni、Zr、B及Zn各别在10质量ppm以下，不纯物之合计质量比是在100质量ppm以下。