微细图型转印材料

摘要

本发明系提供一种藉奈米压印成形而适当地形成微细图型之转印材料。使用于奈米压印成形之转印材料中，本发明之微细图型树脂组成物系含有有机矽化合物与周期表之第3族至第14族的金属化合物。