发明名称 半导体装置及其制造方法
摘要 本发明系关于一种半导体装置及其制造方法。这种半导体装置系包含有:闸极型样,系形成于半导体基板上;第一搀杂区,系形成于半导体基板中闸极型样之一侧,以及第二搀杂区系形成于半导体基板中闸极型样之另一侧;自我对准矽化物遮蔽膜型样,系部分地覆盖于第一搀杂区或第二搀杂区上;绝缘膜,系形成于半导体基板上,其中此绝缘膜系包含:第一孔,系用于曝露出自我对准矽化物遮蔽膜型样;以及第二孔,系用于部分地曝露出未被自我对准矽化物遮蔽膜型样覆盖之第一搀杂区域或第二搀杂区;以及第一导线,系用于穿过此第一孔连接于自我对准矽化物遮蔽膜型样。
申请公布号 TW200905811 申请公布日期 2009.02.01
申请号 TW097125887 申请日期 2008.07.09
申请人 东部高科股份有限公司 发明人 李蓉根
分类号 H01L21/8247(2006.01);H01L21/82(2006.01);H01L27/115(2006.01);H01L27/04(2006.01) 主分类号 H01L21/8247(2006.01)
代理机构 代理人 许世正
主权项
地址 南韩