检查装置及检查方法

摘要

本发明是提供即使被检查体与探针卡全面接触的情况，仍能够直接掌握载置台是否达到超速驱动量之检查装置。本发明的检查装置（10）是一种具备有载置台（11）、探针卡（12）以及控制装置（14）；在控制装置（14）的控制下，令载置台（11）超速驱动以使晶圆Ｗ与探针卡（12）全面电接触，进行晶元Ｗ的电特性检查之检查装置，该检查装置系在载置台（11）之外周缘部外侧的（3）个处所，设有将载置台（11）的载置面与探针卡之探针卡座（15）的下面之距离予以测定之移位感测器（20），控制装置（14）则是根据移位感测器（20）的测定值来控制载置台（11)的上升量。