发明名称 Silicon elasticity pad with Vacuum pad
摘要
申请公布号 KR20090000758(U) 申请公布日期 2009.01.23
申请号 KR20070012046U 申请日期 2007.07.20
申请人 发明人
分类号 H01L21/02;H01L21/00 主分类号 H01L21/02
代理机构 代理人
主权项
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