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Die vorliegende Erfindung betrifft ein Sensorelement (10) zur Detektion von leitfähigen Partikeln in einem Gasstrom, umfassend ein Interdigitalelektrodensystem mit mindestens zwei kammartig ineinander greifenden Interdigitalelektroden (12, 13) und eine Trägerschicht (14), wobei das Interdigitalelektrodensystem (12, 13) auf der Trägerschicht (14) angeordnet ist, dadurch gekennzeichnet, dass mindestens eine Interdigitalelektrode (12, 13) eine Profilstruktur (21, 22) aufweist, ein Verfahren zu dessen Herstellung sowie dessen Verwendung.
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