Koordinaten-Messmaschine mit Schwingungsentkopplung und Verfahren zur Schwingungsentkopplung einer Koordinaten-Messmaschine

摘要

Es ist eine Koordinaten-Messmaschine (1) mit Schwingungsentkopplung offenbart und ein Verfahren zur Schwingungsdämpfung realisiert. Es ist ein in X-Koordinatenrichtung und in Y-Koordinatenrichtung verfahrbarer Messtisch (20) vorgesehen, der im Wesentlichen in einer Ebene (25a) bewegbar ist. Eine Steuerung (16) ist mit den Schwingungsdämpfern (26) und dem Messtisch (20) verbunden, wobei die Steuerung (16) aus einem bevorstehenden Verfahrweg (30) des Messtisches (20) den Einfluss des Messtisches (20) auf die Lageänderungen der Koordinaten-Messmaschine (1) bestimmt und die Schwingungsdämpfer (26) derart steuert, dass die Lageänderungen durch den Einfluss des Messtisches (20) ausgeglichen werden.