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发明名称 Metallorganische Germanium-Verbindungen, geeignet zur Verwendung in Dampfphasenabscheidungsprozessen
摘要
申请公布号 DE602004018219(D1) 申请公布日期 2009.01.22
申请号 DE200460018219T 申请日期 2004.04.01
申请人 ROHM AND HAAS ELECTRONIC MATERIALS, L.L.C. 发明人 SHENAI-KHATKHATE, DEODATTA VINAYAK;POWER, MICHAEL BRENDAN
分类号 C23C16/22;C07C391/00;C07C395/00;C07F7/02;C07F7/08;C07F7/10;C07F7/12;C07F7/30;C23C16/18;C23C16/24;C23C16/28;C23C16/30;H01L21/205 主分类号 C23C16/22
代理机构 代理人
主权项
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