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发明名称 A method for processing a semiconductor substrate surface and a chemical processing device for the semiconductor substrate surface
摘要
申请公布号 AU2007356732(A1) 申请公布日期 2009.01.22
申请号 AU20070356732 申请日期 2007.08.23
申请人 WUXI SUNTECH POWER CO., LTD. 发明人 ZHENGRONG SHI;JINGJIA JI;YUSEN QIN
分类号 H01L21/304;H01L21/306 主分类号 H01L21/304
代理机构 代理人
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