化学机械研磨机台的维护方法

摘要

本发明公开了一种化学机械研磨机台的维护方法。现有的化学机械研磨机台通过分步执行研磨消耗品更换与维护、新研磨垫磨合和刷子磨合步骤来实现常规维护，其花费时间较长，大大降低了机台的使用效率。本发明的维护方法在完成研磨消耗品更换与维护后，同时执行研磨垫磨合和刷子磨合步骤。通过将研磨垫磨合和刷子磨合步骤有机结合，可将磨合时间缩短一半，从而使每月花费在机台常规维护上的时间平均减少6小时，提高了0.83％的机台使用效率。

主权项

1、一种化学机械研磨机台的维护方法，其特征在于：在完成研磨消耗品更换与维护后，同时执行研磨垫磨合和刷子磨合步骤。