抑制高阶反射的多层反射器

摘要

本发明公开一种多层干涉反射膜。该多层干涉反射膜具有设置为形成整个反射膜中的光学重复单元的单独光学层。多个光学重复单元中每个具有六个单独层，其中至少三个单独层在设计波长λ₀处具有不同的折射率。所述单独层具有名义上相同的折射率和物理厚度并且随意标记为“A”、“B”、“C”和“D”，所述单独层按照CACDBD的循环排列顺序布置在六层式光学重复单元中，其中层A和层B每个都厚于层C和层D。可以选择所述单独层的厚度和折射率，以便在反射设计波长的光的同时抑制二阶、三阶和四阶反射。

主权项

1.一种多层反射膜，所述多层反射膜包括多个光学重复单元，所述光学重复单元中至少一些包括按照六层顺序CACDBD或者其循环排列的顺序布置的单独层A、B、C、D，所述层A和所述层B光学上厚于所述层C和所述层D，并且所述单独层具有满足下述关系的折射率：nA≥nD＞nC＞nB或nA＞nD＞nC≥nB。