发明名称 光感测元件及其制法
摘要 本发明公开了一种光感测元件及其制法,该制法包括下列步骤:在基板上制作出光转换元件;在该光转换元件上形成抗反射涂层;以及在该抗反射涂层上形成荧光物质,荧光物质能吸收特定波段的光、并反射出易于被光转换元件感测的波段的光。本发明的光感测元件可实时监测紫外线的状况,进而采取适当的防护措施,本发明采用成本低的光感测元件,取代现有技术中用蓝宝石基板、Al<SUB>x</SUB>Ga<SUB>1-x</SUB>N系列材料简化了制程、降低了成本,同时本发明以现有用硅材料制成的光感测元件取代Al<SUB>x</SUB>Ga<SUB>1-x</SUB>N系列材料,解决Al<SUB>x</SUB>Ga<SUB>1-x</SUB>N系列材料所需施加电压过大不适合用于诸如手表、手机、PDA等便携式电子装置的问题,避免检测紫外光同时也检测到可见光或红外光波段的光的问题。
申请公布号 CN100454586C 申请公布日期 2009.01.21
申请号 CN200610007627.5 申请日期 2006.02.15
申请人 财团法人工业技术研究院 发明人 林哲歆;王庆钧;李隆盛
分类号 H01L31/18(2006.01);H01L31/08(2006.01);H01L31/028(2006.01);H01L31/0232(2006.01);H01L27/146(2006.01) 主分类号 H01L31/18(2006.01)
代理机构 北京戈程知识产权代理有限公司 代理人 程伟
主权项 1.一种光感测元件的制法,其特征在于,该制法包括下列步骤:在基板上制作出光转换元件;在该光转换元件上形成抗反射涂层;以及在该抗反射涂层上形成荧光物质,荧光物质能吸收特定波段的光、并反射出易于被光转换元件感测的波段的光。
地址 台湾省新竹市