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发明名称 CARRIER FOR DOUBLE SIDE POLISHING MACHINE AND DOUBLE SIDE POLISHING MACHINE EMPLOYING IT, AND DOUBLE SIDE POLISHING METHOD
摘要
申请公布号 EP1852900(A4) 申请公布日期 2009.01.21
申请号 EP20060714084 申请日期 2006.02.20
申请人 SHIN-ETSU HANDOTAI CO., LTD. 发明人 UENO, JUNICHI
分类号 H01L21/304;B24B37/28 主分类号 H01L21/304
代理机构 代理人
主权项
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