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发明名称 SUBSTRATE TRANSFER SYSTEM FOR SEMICONDUCTOR PROCESSING EQUIPMENT
摘要
申请公布号 EP1038314(A4) 申请公布日期 2009.01.21
申请号 EP19980960377 申请日期 1998.11.20
申请人 ASM AMERICA, INC. 发明人 RAAIJMAKERS, IVO;JACOBS, LOREN, R.;HALPIN, MICHAEL, W.;ALEXANDER, JAMES, A.;O'NEILL, KEN;GOODWIN, DENNIS, L.
分类号 B65G49/07;H01L21/683;H01L21/687;(IPC1-7):H01L21/68 主分类号 B65G49/07
代理机构 代理人
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