用于聚焦激光束的设备和方法

摘要

本发明涉及一种用于聚焦激光束的设备(1)。设备(1)包括：用于沿光发射路径(10a)发射激光束(10)的源(2)、用于将所述激光束(10)聚焦在聚焦点(F)的装置(3)以及用于调节所述聚焦点(F)的位置的装置(4)。设备(1)还包括用于检测对所述调节装置(4)起反馈作用的聚焦距离(D)的装置(5)。聚焦距离(D)通过检测离开聚焦装置(3)的光束(10)的代表此聚焦距离(D)的参数特性而被检测。此特性参数是聚焦光束(10)的波阵面曲率半径。本发明的设备能够精确和可靠地自动调节所需的聚焦距离，而与可能出现的定位误差和/或设备本身的机械和光学部件的不需要的移动无关。如果需要，此调节可以是连续和实时的。

主权项

1.一种用于聚焦激光束的设备(1)，所述设备包括：沿光发射路径(10a)的激光束(10)的发射源(2)；用于将所述激光束(10)聚焦在位于聚焦距离(D)处的聚焦点(F)中的第一聚焦装置(3)；用于调节所述聚焦点(F)相对于所述设备(1)的位置的装置(4)；用于检测对所述调节装置(4)起反馈作用的所述聚焦距离(D)的装置(5)，其中所述检测装置(5)检测离开所述第一聚焦装置(3)的所述光束(10)的代表所述聚焦距离(D)的参数特性；其特征在于：所述特性参数是离开所述第一聚焦装置(3)的所述光束(10)的波阵面曲率半径。