| 发明名称 | 旋转孔眼掩模组件和沉积系统 | ||
| 摘要 | 一种孔眼掩模组件包括可旋转机架和具有孔眼的掩模。一种夹持结构被用以拉紧所述掩模并使所述掩模与所述机架限定的形状贴合。沿基本平行于所述机架的轴线和/或围绕所述机架限定的所述形状的周围，向所述掩模施加拉伸力。从位于所述可旋转机架内的沉积源散发的沉积材料穿过所述掩模孔眼沉积到幅材上。 | ||
| 申请公布号 | CN101351572A | 申请公布日期 | 2009.01.21 |
| 申请号 | CN200680049700.3 | 申请日期 | 2006.12.07 |
| 申请人 | 3M创新有限公司 | 发明人 | 杰弗里·H·托其;唐纳德·J·穆克卢尔 |
| 分类号 | C23C14/04(2006.01);C23C16/04(2006.01) | 主分类号 | C23C14/04(2006.01) |
| 代理机构 | 中原信达知识产权代理有限责任公司 | 代理人 | 车文;郑立 |
| 主权项 | 1.一种装置，包括：可旋转机架；掩模，其具有孔眼；以及夹持结构，其被构造为拉紧所述掩模，使所述掩模与所述机架限定的形状贴合。 | ||
| 地址 | 美国明尼苏达州 | ||