等离子处理设备、半导体制造设备以及其中使用的静电夹具单元

摘要

在静电夹具单元的平面上基本对称的一种布线元件，它连接到位于RF导入杆和静电夹具单元之间的RF导入杆的尖端，以便使由作为等离子损坏的原因的偏置RF所生成的电场均匀。静电夹具单元和布线元件之间的连接点可以是一个或多个。

主权项

1.一种等离子处理设备，包括：静电夹具，其具有导电元件，所述导电元件产生用于支撑目标物的静电吸引；RF偏置导入杆，连接到RF电源；以及布线元件，其将所述RF偏置导入杆连接到所述导电元件；在平面中，所述布线元件具有多个弯折部分和多个弯曲部分，每个所述弯折部分具有与所述RF偏置导入杆的相同端连接的一端，以及每个所述弯折部分大体上相对于穿过所述导电元件中心的直线呈线性对称；每个所述弯曲部分相对于所述导电元件的中心大体上呈中心对称，并且具有两个末端，并且分别连接到所述弯折部分中的各个不同弯折部分的相对端，以及所述弯曲部分的其中一个的至少一个末端连接到所述导电元件。